产品信息

P9000集群系统的设计，以处理50mm至300mm晶圆。P9000可以配备多种不同的模块，包括多种光刻胶涂布器或显影机、成底膜模块、热板和冷板。专业的工艺模块也可用，包括光学定心和边缘珠去除的使用。P9000集群系统是为在小的占用空间内的灵活性和高吞吐量而设计的。P9000可以配置为涂布机，显影机，HMDS，烘烤，冷却，合金退火，金属剥离等多种模块，并可以处理广泛的光刻胶旋转涂层和光敏感聚合物应用。

适用于2-12寸晶圆

功能：

  · 快速涂胶

  · 显影

  · 前烘

  · 竖膜

  · HMDS

  · 合金退火

  · 金属剥离

  · 光学对中

  · 晶圆传送